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六氟化硫是一种不燃烧的化学上很稳定的气体，也是一种对生理呈惰性的气体。但六氟化硫可引起窒息。当空气中六氟化硫含量过高而使氧含量<19.5%时，会导致快速窒息。接触器液体会造成冻伤。

未被NTP、OSHA及IARC列为致癌物及潜在致癌物。

六氟化硫危险性级别

六氟化硫在中国国家标准GB13690-62和《危险化学品名录》(2002版)中定为第2.2类不燃烧气体，危险特性5.20，危险货物编号22021。

纯品基本无毒，但产品中如混杂低氟化硫，氟化氢，特别是十氟化硫或一氧十氟化二硫时，则毒性增强。

六氟化硫危害表现

眼接触：接触其液体及冷的蒸气会引起组织冻伤。

吸入：暴露在氧气含量<19.5%的大气会导致头晕、昏迷、口水增多，反应迟钝，反胃，呕吐，失去意识和死亡，暴露在氧气含量<12%的大气会无任何先兆的失去知觉，并失去自我救护的能力。

皮肤接触：接触其液体及冷的蒸气会引起冻疮。

预防与急救：

为了防止吸入有害气体，工作人员必须在通风良好的条件下进行操作。当发现由异味或刺激作用时，务必尽快离开现场，到空气新鲜的地方去。若操作人员暂不能离开现场，则应立即佩戴防毒呼吸器。因S2F6的气体密度约为空气的9倍，通风必须非常好。在操作场所得某些设备上，须专门装设有效的吸附器，以脱除排气中的有毒气体。更换处理吸附器时，应严格遵守安全规定。

当进入浓度超过暴露极限的泄漏区时需配备自给式呼吸器。一旦吸入，应迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅。如呼吸困难，应给予输氧，如呼吸停止，应立即进行人工呼吸。不论何种情况，在做完紧急处理后应立即到专业医院就医。

泄漏急救：迅速撤离泄漏污染区人员至风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给式正压呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复，检验后再使用。