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GC特气柜（Gas Cabinet）和GR特气架（Gas Rack）的功能设计

特气柜Gas Cabinet是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性气体供应而设计的供应系统，按类别可分为：全自动、半自动和手动操作。基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断（当设定报警信号被触发时）。

全自动气柜通过采用PLC控制，触控屏为人机界面，通过设备安装的压力传感器、气动阀、过流量计等装置，实现设备安全有效的运行。其内部PLC程式设计的安全联锁功能和高纯阀件的合理选择和布局，既满足了半导体工艺生产过程中对特殊气体连续供给和高纯度的要求，同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。下面由盖斯帕克为大家简单介绍一下GC特气柜（Gas Cabinet）和GR特气架（Gas Rack）的功能设计。

特气柜/架，VMB/VMP简介

GC—Gas Cabinet 气瓶柜(用于危害性气体) GR—Gas Rack 气瓶架(用于危害性气体)

VMB—Valve Manifold Box 阀门箱(用于危害性气体) VMP—Valve Manifold Panel 阀门盘(用于危害性气体) 特气柜和VMB主要用于易燃易爆腐蚀有毒等危害性气体，而气瓶架和VMP一般用于非危害性气体；主要区别在于，特气柜和VMB都要有一个外壳上有抽风管，当发生小泄露等危险情况时可将此类气体排出去避免扩散产生更大危险。

Gas Cabinet / Gas Rack 特气柜/气瓶架/特气盘面 : 功能设计

可分为单钢瓶(1process)/ 双钢瓶( 2 Process ) / 三钢瓶(2 Process + 1 N2) 气瓶柜内的钢瓶数设计可分为三种：分别为单钢瓶、双钢瓶、三钢瓶。

（1）单钢的设计通常使用于研究机构或实验室等。工艺制程尚未有量产，气体使用量小，现场

可随时协调停机进行钢瓶之更换，其优点节省空间、成本低、但需透过日常之管理与协调以免中断工艺制程造成损失。

（2）双钢与三钢常用于量产工厂，工艺制程不允许停机情况，当一支钢瓶使用完后，另一支备

用钢瓶（stand by）会自动转为供气，此两种形式最大的差别是在purge管路的纯化氮气是以钢瓶或厂务端供应，当purge用的PN2统一由厂务端来供应时，所有特殊气体供应系统不管是否相容，全部连接到同一个供应源，会有较高的风险值；万一中央供应系统的PN2中断，警报系统又损坏，恰巧两种不相容的气体同时使用purge，此时极有可能发生爆炸的事件发生，相同性质可使用同一瓶钢瓶来purge增加的成本及空间非常有限，是一种非常好的应变方式。

（3）三钢气柜成本不会差很多安全性会是最好的，只要空间允许应最优先选择。

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