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特气产品中存在大量的高毒性，自燃性，可燃性及禁水性物质，故特气系统安全防范措施会成为极端状况下的最后屏障。同时，由于高成本、低使用概率的特点，也非常容易被忽视。

火焰侦测器：依据不同的火焰性质决定

烟雾报警器

温度报警器

红外/紫外火焰报警器

地震仪系统：

针对地震频繁区域及危害极大的物质

闭路电视系统：

实时监控

对于剧毒物质，本系统是政府的强制要求

消防系统：依据不同的物质性质决定

柱状水喷淋

雾状水喷淋

CO2系统

干粉系统

蛭石系统

气体侦测系统：依据不同的物质性质决定

电化学式

半导体式

纸带式

红外式

质谱式

检知管式

触媒燃烧式

伽凡尼电池式

排放系统

良好的风管设计及材质可靠性要求

混合排放的管理

合适的尾气处理装置

个人防护具及安全装置

足部防护

手部防护

身体防护

面部防护

呼吸防护

冲身洗眼器

六氟灵，敌氟特灵等专用药品

急救包

气房负压控制系统：

高阶要求，可有效防止潜在泄露的无组织逸散

建筑及系统防爆要求：

针对可燃性气房尤其重要

气房温度控制：

针对低压气体及低闪点物质的安全要求

对于低压气体或液体的工艺要求

对于容易发生分解或聚合的气体的品质要求

物质兼容性要求：

不兼容的物质严禁混放

确保足够的安全间距

合理的工具及设备配置

扭力扳手

氦检仪

垫片耗材

无尘布耗材

IPA耗材

其他工具

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